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  • 产品名称:闭管软着陆扩散系统(包括常压扩散&抵押扩散)
  • 产品类别:【组件模块生产】
  • 发布日期:2018-8-14 19:48:49
  • 关 键 词:
  • 供 应 商:青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
  • 联系方式:0532-87666580
  • 地   址:青岛市高新区华东路826号(华东路与锦汇路交界处)

◆ 闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环 境干扰,工艺质量完全受控。 ◆ 自动控制温度过程及工艺过程,全部采用进口优质产品。 ◆ 送取片方式:精心设计制造的软着陆装置,全数字化控制,性能更加稳定可靠,其特点平稳可靠、无爬行、Sic浆实现免清洗、定位准确、承重量大、使用寿命长。 ◆ 可用于离子注入后的退火工艺。 ◆ 我公司亦可提供硼扩散设备。