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【闭管软着陆扩散系统(包括常压扩散&抵押扩散）】

  • 产品名称：闭管软着陆扩散系统(包括常压扩散&抵押扩散）
  • 产品类别：【组件模块生产】
  • 发布日期：2018-8-14 19:48:49
  • 关 键 词：
  • 供 应 商：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
  • 联系方式：0532-87666580
  • 地   址：青岛市高新区华东路826号（华东路与锦汇路交界处）

◆ 闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环 境干扰，工艺质量完全受控。 ◆ 自动控制温度过程及工艺过程，全部采用进口优质产品。 ◆ 送取片方式：精心设计制造的软着陆装置，全数字化控制，性能更加稳定可靠，其特点平稳可靠、无爬行、Sic浆实现免清洗、定位准确、承重量大、使用寿命长。 ◆ 可用于离子注入后的退火工艺。 ◆ 我公司亦可提供硼扩散设备。