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  • 产品名称:PECVD等离子增强化学气相淀积设备
  • 产品类别:【组件模块生产】
  • 发布日期:2018-8-14 19:45:46
  • 关 键 词:
  • 供 应 商:青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
  • 联系方式:0532-87666580
  • 地   址:青岛市高新区华东路826号(华东路与锦汇路交界处)

◆ 用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制。 ◆ 采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。 ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。 ◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置。 ◆ 具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力 报警, N2 压力报警,流报警等。 ◆ 现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能,解决了电池组件PID问题。 同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺),可极大地提高电池的转换效率。 ■ 类 型 ◆ 装片数量: 320片/舟(125*125) 252片/舟(156*156) ◆ 净化台洁净度:100级(10000级厂房) ◆ 自动化程度:自动控制温度及工艺过程。 ◆ 送取片方式:软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。