青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

◆ 用工控机对工艺时间，温度，气体流量，阀门动作，反应室压力实现全自动控制。 ◆ 采用进口压力控制系统，闭环系统，稳定性高。 ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路气密性。 ◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置。 ◆ 具有超高温报警及欠温报警，MFC报警,反应室压力报警，RF报警，高压空气压力 报警， N2 压力报警，流报警等。 ◆ 现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能，解决了电池组件PID问题。 同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺)，可极大地提高电池的转换效率。 ■ 类 型 ◆ 装片数量： 320片/舟（125*125） 252片/舟（156*156） ◆ 净化台洁净度：100级（10000级厂房） ◆ 自动化程度：自动控制温度及工艺过程。 ◆ 送取片方式：软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。