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薄膜电池板生产 LPCVD系列
c-Si电池生产 氧化/扩散炉系列

电   话:86-532-67760258


  • 产品名称:氧化/扩散炉系列
  • 产品类别:【c-Si电池生产】
  • 发布日期:2018-8-15 15:08:06
  • 关 键 词:扩散炉,氧化扩散炉
  • 供 应 商:青岛华旗科技有限公司
  • 联系方式:86-532-67760258
  • 地   址:

◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行自动控制 ◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 ◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 ◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用进口质量流量计(MFC) ◆控温精度高,温区控温稳定性好;