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合成气干法净化装置 全自动光刻机

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  • 产品名称:全自动光刻机
  • 产品类别:【合成气干法净化装置】
  • 发布日期:2012-1-3 21:40:57
  • 关 键 词:光刻机
  • 供 应 商:SIYOUYEN
  • 联系方式:021-51089942
  • 地   址:SHANGHAI

URE系列紫外光刻机系我公司重点推荐产品
曾出口:新加坡,韩国,朝鲜,缅甸,老挝等
 
URE-2000系列 紫外光刻机
型号:URE-2000/35
 
简单介绍:光刻机:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光机, 该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用专利技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
一.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动型)
和高校教学科研(可靠性好,演示方便)

采用专利技术——积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明;

1、采用三爪和球气浮同时找平,无论大片、小片调平精度均高;   

2、具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能;     

3、自动分离对准间隙和消除曝光间隙,间隙分离可达500μm;   

4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,

并提供USB输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和
方便存储;  

5、电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好;    

7、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明(曝光面能量15mW/cm ,温度小于30度);      

8、对准完成,自动消除曝光间隙,无横向漂移且可通过监视器观察; 

9、快门可以单独开启,也可以数字设定自动倒计时曝光(设定范围0.1s-9999.9s);     

10、采用350W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度;   

11、汞灯具有高亮度和“待机”两种方式,即曝光时采用高亮度照明,而不曝光

时采用低亮度的“待机”,从而延长了汞灯寿命。      

12、设备外形美观精制,性能非常可靠;

13、上下片、版十分方便,自动化程度很高,操作简便。

二.技术参数  

1、曝光面积:100mm×100mm(可升级6英寸) 

2、分辨力:0.8-1µm(胶厚2mm的正胶)     

3、对准精度:±0.8µm

4、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、样片尺寸直径Ф15mm--Ф100mm(可适应非标准片或碎片)   

7、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

8、照明均匀性:±3-4%(Ф100mm范围)

9、掩模相对于样片运动行程:  X:±5mm;  Y:±5mm; θ: ±6

10、汞灯功率:350W(直流) 

11、曝光波长:365nm(进口汞灯)

12、曝光能量密度:15mW/cm 可以根据需要增强或调弱(420nm以上波长小于0.1mW/cm )

13、曝光方式:定时(到计时方式0.1s—9999.9s)

 
应用领域 

集成电路芯片、电子封装、微电子机械系统、微光学元件、红外探测器生物电泳芯片、激光二极管光刻、光栅光刻,波导阵列光刻、液晶显示声表器件、平板显示器、大尺寸光栅、码盘刻划等